https://n.news.naver.com/mnews/article/092/0002426484
지디넷코리아
특허심판원 최근 심결...특허도 분쟁 중 램리서치와 반도체 공정용 에지 링 특허·디자인 등 산업재산권 분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 디자인 2건 무효화에 실패했다. 비씨엔씨는 램리서치 특허 3건을 상대로 청구한 무효심판 3건 중 2건은 무효, 1건은 유효라는 판단을 받은 상태다.
링은 반도체 공정 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다. 링은 주로 내플라즈마·내열성이 우수한 쿼츠 재질을 사용한다.
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