전기硏, SiC 전력반도체 ‘킬러 결함’ 정체 찾았다

https://n.news.naver.com/mnews/article/016/0002659375

헤럴드경제

- 측정 난제였던 사다리꼴 결함 구조 밝혀

[헤럴드경제=구본혁 기자] 최근 고전압/고품질 SiC 전력반도체의 수요가 폭발적으로 증가하고 있다. 하지만 고부가가치 소자를 양산하려 해도, 에피택시 성장 중 발생하는 킬러 결함들로 인해 수율 확보에 큰 어려움을 겪고 있다.